QATLAM MIKROELEKTRONIKASI ASOSLARI
- Author: T. D. RAJABOV, V. A. SHUSTROV, A. M. NAZAROV
- Language: O'zbek tilida
- Writing: Lotin yozuvida
- Publisher: Toshkent
- Year: 1997
- Views: 148
Mazkur darslik oliy o’quv yurtlarining "Fizik elektronika" mutaxassisligi talabalari uchun mo’ljallangan bo’lib, unda "Mikroelektron texknologiyaning fizik asoslari" kursi yoritilgan. Darslikda bo’shliqda (vakuumda) changitish texnikasi, bug’ kondensasiyalanganda qatlamning o’sish jarayonlari ko’rib chiqilgan. Shuningdek, metall hamda dielektrik qatlamlarning fizikmexanik va elektr xususiyatlari alohida o’rin egallagan. Ilova tarzida kondensasiyalanayotgan materiallarning ba’zi parametrlari va xususiyatlari aks ettirilgan jadvallar berilgan. Darslik sanoat elektronikasi, elektron hisoblash apparaturalarining tuzilishi va shu kabi sohalar bilan qiziquvchi kitobxonlar uchun ham foydali manba bo’la oladi.